澳门太阳集团20056
4377.com
产物取效劳
1115.com
1115.com
技术服务
品格保障
1115.com
常见问答
常见问答
您如今的位置:首页->产物取效劳->常见问答
mask常见发问及回覆

1问:什么是光罩?
答:光罩之建造系自产物设计者透过计算机辅助软件将电路图形发生出来后.再以雷射或电子束暴光体式格局将此电路图形烙印正在玻璃基板的光阻上,此经由烙印后所发生出来之玻璃基板即称为『光罩』(一般称呼『铬版』 『干版』『PhotoMask』『Mask』等).重要起到图形转移的感化。

澳门太阳集团2007登录

2问:铬版怎样生存?
答: 铬版为硬掩膜版,为防备其变形,需求竖直寄存,为了包管掩膜版外面的清洁度,一样平常要生存正在1,000级以上的无尘室内,温度:20~26℃,湿度需保持正在40-60%RH之内,静电电压掌握正在500伏之内,由于鉻版的基材是玻璃,若是需求对鉻版临时生存,则需求连结正在枯燥的情况里,以防备玻璃泛起发霉征象,影响光学机能。

3问: 铬版正在运用时应注重甚么题目?
答:为了尽量天制止划、碰伤,影响寿命,运用时要轻拿轻放,暴光前必需对光搜检鉻版外面是不是有硬性颗粒,正在暴光历程中也需求常常用净化后的紧缩气体消灭鉻版外面的玻璃碎片,运用终了,应将鉻版外面从新洗濯清洁,枯燥后再生存。
因为铬版上的图形是金属铬(chrome),它的硬度异常大,和玻璃靠近,因而它的耐划伤机能异常下,一样平常硬度较小的物体不会对其形成划伤。但若是正在运用历程中存在玻璃屑,正在打仗状况下,铬版的外面便很容易遭到毁伤,严峻时会形成顶伤。

4问: 铬版划伤是不是能够修复?
答:铬版划伤一样平常分为三种,一种是铬层正在外力作用有一划伤印,但划伤处其实不透光,这类划伤对暴光其实不影响,不需要停止修补;另一种是划伤处的铬层透光,但玻璃基版没有毁伤,这类划伤较严峻,需求修补;另有一种严峻划伤,严厉来讲应当叫顶伤,它不只铬层遭到损坏,并且玻璃基版也遭到破坏,若是玻璃基版破坏处仅仅是正在线条下的玻璃基版,则可停止修补,但若是泛起非线条处的玻璃基版遭到毁伤的状况,则没法停止修补。

5问: 铬版的是非缺点怎样修复?
答:铬版批改:光罩不透光缺点批改道理,将过剩之铬点应用Laser高温霎时将之蒸发去除,详细体式格局是接纳高能量激光霎时蒸发体式格局对铬残(乌缺点)停止批改。
铬版修补:路维接纳金属膜层(铬金属)体式格局批改,属行业内先辈之批改体式格局(TFT批改机械),金属膜表层色彩为红色(非脏点),修补后可靠性强。

6问:铬版应当运用什么样的洗濯要领?
答:铬版的洗濯要领有许多,每一个客户皆有本身的洗濯要领,详细以各个公司的洗濯要领为主;以下洗濯要领谨供您参考!现在较有用的洗濯要领是:
(1) 铬版的部分干净要领: A、起首运用净化气吹去铬版的外面杂物. B、 与一干净的全新无尘布醮DI 火,对发明的部分脏点沿一个偏向停止擦拭。 C、 再取一干净的全新无尘布沾取经蒸馏的剖析纯酒精或丙酮,沿 DI 火的擦拭偏向停止屡次的擦除。
(2) 铬版的整版洗濯要领: 将铬版完整浸入[洗濯液①]溶液中(浸入前先要用无尘气枪吹净铬版外面,以防备玻璃屑类的异物),运用干净的全新无尘布对浸正在溶液中的铬版外面停止擦洗(也要求擦洗后头),溶液擦洗工夫弗成凌驾 20 分钟。正在运用溶液擦洗时需注重铬版的外面弗成取[洗濯槽②]或其他物体打仗,以避免划伤铬版外面;运用溶液擦洗后,需用大量活动 DI 火冲刷,冲刷必需完整和完全,冲刷工夫弗成小于 10 分钟。冲刷中一样要注重制止致使铬版外面的划伤的身分。洗濯后的铬版需竖直寄存正在流动的位置,并运用含有经高效过滤净化气或氮气离别正在铬版的两个外面从左至右从上至下吹赶保存正在玻璃外面的 DI 火或用无尘箱烘干。别的,要注重制止运用气枪吹赶 DI水时 DI 火 的反弹征象(反弹的 DI 火会形成铬版外面的火迹)。
注:
*[洗濯液①]:可运用氢氧化纳剖析纯停止配比,容度正在 3%-5%之间便可;
*[洗濯槽②]:可运用 PP:PVC 质料建造成贵司实用尺寸高度的水槽;

7问:铬版的寿命怎样?
答:分两个方面:
从质料上看重要是铬膜的粘附力,当前对照通用的丈量真空镀膜的膜系粘附力是接纳3M胶带测试铬膜的粘附力;现在我们从同行业中断获得的数据凌驾10万次。
工艺运用,那又分两个方面
a、物理性损坏,包孕外界硬质颗粒形成的铬膜和玻璃损坏,比如玻璃/陶瓷碎屑、
不适当超声波处置惩罚、外界机器气力袭击损坏等。
b、化学性损坏,局部化学试剂会发生一系列化学侵蚀损坏外面铬膜。长时间浸泡正在
强碱溶剂中形成的玻璃侵蚀而低落铬膜粘附力,别的长时间将MASK浸泡正在浓硫酸中也
会形成铬膜剥落征象。影响铬版寿命的缘由有许多种,并且需求凭据详细实际情况去判定。
C、因为铬版外面是一层铬金属,以是正在运用取存储方面不要接近接电物体,正在转接铬
版时,需戴防静电手套(由于人体存在大量静电),制止静电对铬版外面形成毁伤。

8问:静电(ESD)会对铬版发生那些影响?怎样防备?
答:正在氛围枯燥的时节,当您开门时偶然会有电击的觉得,那就是静电放电(ESD)。当您觉得电击时,您身上的静电电压已凌驾2000伏!当您看到放电火花时您身上的静电已高达5000伏!当您听到放电声音时,您身上的静电已高达8000伏!然则当代很多高速超大规模集成电路遇到仅几十伏或更低的静电便会遭到破坏。也就是说当您打仗这些电路时,您既没有感觉到又没有看到更没有听到静电放电时,那块电路便已局部毁伤或完整破坏,而您能够借正在找其硬件或软件的缘由。您能够还没有意识到是静电这个“鬼魂”。正在上个世纪中叶之前,静电征象便犹如科技馆中的演出,只是一种风趣的物理征象;但是如今,静电已成为高科技现代化产业的恐惧主义者。
而铬版从构造上能够剖析二层,一层是铬,色彩为雪白色;一层是氧化铬,色彩为深褐
色;由于铬版外面的铬层为金属,轻易传导静电电流;当静电发生到铬版外面后,铬版中的静电会找图形中较小或较尖的图形停止放电历程,从而击伤铬版外面铬金属层。
静电发生的缘由有许多,比便人体、装备、情况、图形设想规律等皆可能会发生静电征象;以是正在运用或生存铬版时该当对铬版增强珍爱。为更好防备静电征象的发生,正在铬版的运用取生存时,我们提出一些发起,详细以下:
a.运用或打仗铬版的消费装备取工作台的地线需求接地;
b.情况湿度最少掌握正在50%以上,不要偏低,由于氛围枯燥轻易发生静电;
c.正在运用或运输历程中打仗铬版时,需对职员停止管控;操纵职员需穿防静电衣、应戴防静电手套、防静电伎俩等;由于人体也是发生静电的主要身分。
d.可增加防静电液喷撒到车间或工作台角边;或正在事情地区增添去静电离子风机,先运用离子风机吹脚取身材,去除人体的静电后再拿版正在离子风机吹,便可去除静电征象。
e.正在寄存铬版时,弗成将铬版一片叠一片的寄存(如许轻易致使摩擦出划伤,也轻易致使静电发生),可采用竖直插放正在铬版柜中或铬版架中。
f.正在图形设想方面,能够增添或变动静电设想,从上图看,设想的静电尖角处还没有完整起到防备感化;对图形停止防静电设想能有用的防备静电征象。

9问:干版正在搜检和运用中应注重甚么?
答:和铬版对照,干版更易划伤,以是干版不能用硬物间接打仗,如许制止划伤,并且,若是情况不净化的状况下,干版异常轻易吸附尘土,且洗濯较难题,以是正在干版搜检和运用历程中要求净化情况对照下,最幸亏1000级以上(揭膜干版除外)。
干版外面是一层明胶,它是一层有机物,若是干版被划伤,明胶一样平常会和上面玻璃局部离开,若是用修补胶修补,修补胶不会牢靠的和干版附着在一起。以是干版划伤一样平常不容易修补。以是正在运用、挪动、生存历程中,请制止对干版形成碰撞、摩擦等征象。

10问:干版怎样停止洗濯?
答:干版的部分干净要领: 起首运用净化气(氮气)吹净干版的外面脏物(如干版外面存在玻璃屑,必需正在擦试前用气枪长时间吹使其撤除),若是脏物没有撤除,可取一干净的全新无尘布蘸取剖析纯酒精,然后用酒精润湿的无尘布把脏物沾除或擦掉。
干版的整版洗濯要领: 配制0.2%-0.4%的NaOH溶液(洗濯液)并过滤,然后用大量的DI火冲刷干版,正在冲刷历程中络续用洗濯液浸泡清洁的无尘布对整版悄悄停止擦拭洗濯, 最初正在用大量的DI火洗濯整版。(以上工夫正在10分钟之内)。然后正在无尘烘箱(50℃)烘干版该版。

 
Copyright © 路维光电 All Rights Reserved  :-澳门太阳集团20056 -4377.com-1115.com-澳门太阳集团2007登录